Substrat MgF2
Keterangan
MgF2 digunakan sebagai lensa, prisma dan jendela untuk panjang gelombang dari 110nm hingga 7,5μm.Ini adalah bahan yang paling cocok sebagai jendela untuk ArF Excimer Laser, karena transmisinya yang baik pada 193nm.Ini juga efektif sebagai polarisasi optik di wilayah ultraviolet.
Properti
| Massa jenis（g/cm3） | 3.18 |
| Titik lebur (℃) | 1255 |
| Konduktivitas termal | 0,3 Wm-1K-1 pada 300K |
| Ekspansi termal | 13,7 x 10-6 /℃ sumbu c paralel 8,9 x 10-6 /℃ tegak lurus sumbu c |
| Kekerasan Knoop | 415 dengan indentor 100g (kg/mm2) |
| Kapasitas panas spesifik | 1003 J/(kg.k) |
| Konstanta Dielektrik | 1,87 pada sumbu c paralel 1MHz 1,45 pada 1MHz tegak lurus sumbu c |
| Modulus Muda (E) | 138,5 IPK |
| Modulus Geser (G) | 54,66 IPK |
| Modulus Massal (K) | IPK 101,32 |
| Koefisien Elastis | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Batas Elastis Semu | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Rasio Poisson | 0,276 |
Definisi Substrat MgF2
Substrat MgF2 mengacu pada substrat yang terbuat dari bahan kristal magnesium fluorida (MgF2).MgF2 merupakan senyawa anorganik yang tersusun dari unsur magnesium (Mg) dan fluor (F).
Substrat MgF2 memiliki beberapa sifat penting yang menjadikannya populer dalam berbagai aplikasi, terutama di bidang optik dan deposisi film tipis:
1. Transparansi tinggi: MgF2 memiliki transparansi yang sangat baik di wilayah spektrum elektromagnetik ultraviolet (UV), tampak dan inframerah (IR).Ia memiliki jangkauan transmisi yang luas dari ultraviolet pada sekitar 115 nm hingga inframerah pada sekitar 7.500 nm.
2. Indeks bias yang rendah: MgF2 memiliki indeks bias yang relatif rendah, menjadikannya bahan yang ideal untuk pelapis dan optik AR, karena meminimalkan pantulan yang tidak diinginkan dan meningkatkan transmisi cahaya.
3. Serapan rendah: MgF2 menunjukkan serapan rendah pada daerah spektral ultraviolet dan sinar tampak.Properti ini membuatnya berguna dalam aplikasi yang memerlukan kejernihan optik tinggi, seperti lensa, prisma, dan jendela untuk sinar ultraviolet atau sinar tampak.
4. Stabilitas kimia: MgF2 stabil secara kimia, tahan terhadap berbagai macam bahan kimia, dan mempertahankan sifat optik dan fisiknya dalam berbagai kondisi lingkungan.
5. Stabilitas termal: MgF2 memiliki titik leleh yang tinggi dan dapat menahan suhu kerja yang tinggi tanpa degradasi yang berarti.
Substrat MgF2 umumnya digunakan dalam pelapis optik, proses deposisi film tipis, dan jendela atau lensa optik di berbagai perangkat dan sistem.Mereka juga dapat berfungsi sebagai lapisan penyangga atau templat untuk pertumbuhan film tipis lainnya, seperti bahan semikonduktor atau pelapis logam.
Substrat ini biasanya diproduksi menggunakan teknik seperti deposisi uap atau metode transportasi uap fisik, dimana material MgF2 diendapkan pada material substrat yang sesuai atau ditumbuhkan sebagai kristal tunggal.Tergantung pada kebutuhan aplikasi, media dapat berbentuk wafer, pelat, atau bentuk khusus.
