Substrat SrTiO3
Keterangan
Kristal tunggal SrTiO3 memiliki struktur kisi bahan struktur perovskit yang baik.Ini adalah bahan substrat yang sangat baik untuk pertumbuhan epitaksi HTS dan sebagian besar film oksida.Telah banyak digunakan dalam penelitian film tipis superkonduktor suhu tinggi.Ini juga banyak digunakan pada jendela optik khusus dan target sputtering berkualitas tinggi.
Properti
Orientasi: (100) +/-0,5 Derajat
Indikasi orientasi tepi: <001> +/-2 Derajat tersedia sebagai opsi dengan biaya tambahan
Polandia: EPI satu sisi dipoles dengan teknologi CMP dengan lebih sedikit kerusakan kisi bawah permukaan.
Kemas: Dikemas dalam kantong plastik kelas 100 di bawah ruang bersih kelas 1000.
| Struktur kristal | Kubik, a=3,905 A |
| Metode Pertumbuhan | Vernuil |
| Massa jenis（g/cm3） | 5.175 |
| Titik lebur（℃） | 2080 |
| Kekerasan (Mho) | 6 |
| Ekspansi termal | 10.4 (x10-6/ ℃) |
| Konstanta Dielektrik | ~ 300 |
| Rugi Tangen pada 10 GHz | ~5x10-4@ 300K , ~3x10-4@77K |
| Warna dan Penampilan | Transparan (terkadang agak coklat berdasarkan kondisi annealing).Tidak ada kembar |
| Stabilitas Kimia | Tidak larut dalam air |
Definisi Substrat SrTiO3
Substrat SrTiO3 mengacu pada substrat kristal yang terbuat dari senyawa strontium titanat (SrTiO3).SrTiO3 adalah bahan perovskit dengan struktur kristal kubik, yang ditandai dengan konstanta dielektrik yang tinggi, stabilitas termal yang tinggi, dan kisi yang baik cocok dengan banyak bahan lainnya.
Substrat SrTiO3 banyak digunakan dalam bidang deposisi film tipis dan pertumbuhan epitaksi.Struktur kubik SrTiO3 memungkinkan pertumbuhan film tipis berkualitas tinggi dengan kualitas kristal yang sangat baik dan kepadatan cacat yang rendah.Hal ini membuat substrat SrTiO3 sangat cocok untuk menumbuhkan film epitaksi dan heterostruktur untuk berbagai aplikasi.
Konstanta dielektrik SrTiO3 yang tinggi membuatnya cocok untuk aplikasi seperti kapasitor, perangkat memori, dan film tipis feroelektrik.Stabilitas termalnya membuatnya cocok untuk aplikasi suhu tinggi.
Selain itu, beragam sifat SrTiO3, seperti konduktivitas logamnya pada suhu rendah dan kemungkinan menginduksi keadaan superkonduktor, membuatnya berguna untuk penelitian fisika benda terkondensasi dan pengembangan perangkat elektronik dan optoelektronik.
Singkatnya, substrat SrTiO3 adalah substrat kristal yang terbuat dari strontium titanat, yang biasa digunakan dalam pengendapan film tipis, pertumbuhan epitaksial, dan berbagai aplikasi elektronik dan optoelektronik karena konstanta dielektriknya yang tinggi, stabilitas termal, dan sifat pencocokan kisi yang baik.
